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第506章 微米雄心（第2页）

“对，庄严。”顾赟点点头，“这是一座殿堂，芯片的殿堂。”

两人推着车继续往前走，在产品中心门口停下来。

门口已经站了几个人，都是验收组的专家，正聚在一起小声讨论着什么。

顾赟掏出钥匙，打开了一扇小门。

“测试区在产品中心的三楼，走，上去看看。”

三人沿着楼梯往上走，楼道里很安静，只有脚步声在回荡。

每层楼的楼道口都有一道铁门，门上贴着“非请勿入”的牌子，还贴着保密须知。

顾赟掏出钥匙，一道一道地开门，动作熟练而迅。

到了三楼，她推开最后一道门，侧身让吕辰进去。

“到了。”

吕辰走进去，愣了一下。

测试区是一个巨大的空间，面积足有上千平方米。

地面是淡绿色的环氧自流平，光滑如镜，能照出人影。

天花板是铝合金吊顶，嵌着一排排日光灯，把整个空间照得亮如白昼。

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靠墙是一排排实验台，台上摆着各种仪器设备，示波器、信号源、频谱仪、万用表，整整齐齐，像士兵列队。

最里面是一面巨大的玻璃隔断，隔断后面是洁净区，穿着白色洁净服的人影在里面走动，动作缓慢而谨慎，像在水里行走。

最近的一张实验台上，放着一线军绿色的扫描电镜。

铭牌上刻着“中国科学院北京真空电子技术研究所研制”几行字。

和之前交付的那一台相比，精致了不少，敦实中多了些精密工业之美。

吕辰凑近仔细看了看，仪器的面板上的旋钮和开关布局更加简洁合理，每一个都标着功能，字迹工整。

顾赟声音里带着一丝无奈：“各方面都优化了一下，更易于操作，也更稳定了，但分辨率还是oo埃，想突破到oo埃，得等下一台了。”

吕辰拿起旁边的操作规程，翻了翻，每一步操作都写得清清楚楚、

“谁写的？”

“我写的。”顾赟说着开机演示。

吕辰对照着步骤过了一遍，确认没问题。

吕辰点点头，拿出本子记录下来。

“带我去看看其他设备。”

顾赟领着他，一台一台地看。

电子显微镜、x射线衍射仪、红外光谱仪、椭圆偏振仪、探针式轮廓仪、四探针电阻率测试仪……

每一台设备都贴着标签，标着名称、型号、生产厂家、安装日期、责任人。

清一色都是国产，清一色都是国防绿涂装，外壳粗糙，旋钮松垮，但运转起来很稳。

有些设备还是比不得进口的，不过只专注核心功能，基本上也能达到要求。

顾赟对每一台设备都如数家珍，参数、性能、使用方法、注意事项，张口就来，没有半点犹豫。

走到一台大设备前面时，二人停了下来。

那是一台一人多高的仪器，也是军绿色的外壳，正面嵌着一块显示屏，显示着一行一行的绿色字符。

旁边有一个操作台，台上放着键盘和轨迹球，球面已经磨得光滑。

这台电子束曝光机，是长光所的又一利器，用来制造光刻掩模版，精度o微米。

吕辰走过去，仔细看了看。

仪器的面板上，贴着一张手写的“使用记录表”，上面密密麻麻记着日期、使用者、使用时长、设备状态。

最后一栏是“设备状态”，每一行都写着“正常”，字迹工整，签名清晰。

“谁负责这台设备？”吕辰问。

“戚工。”顾赟喊了一声。

一名穿着洁净服的中年人走了过来，手里拿着一个文件夹。

他从文件夹里抽出一张表格，递给吕辰。

“这台设备娇贵得很，对环境要求特别高。温度波动过o度，它就不稳定；振动稍微大一点，曝光就偏了。我每天早晚各检查一次，记录温湿度和设备参数。”