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第467章 给星河装上眼睛（第2页）

吕辰凑过去。

观察窗里，是一幅灰白色的图像。

放大，调焦，再放大，再调焦。

慢慢的，图像清晰起来。

那是一群不规则的颗粒，有的圆，有的尖，大大小小地堆在一起。

“这是氧化镁粉末。”李总工在旁边说，“常用的标样。”

吕辰看了一会儿，然后退开。

“陈厂长，能不能拿个芯片来？”他问。

陈光远朝旁边的人点了点头，不一会儿，有人拿过来一个陶瓷封装的芯片。

“这是hx-的测试片，”那人说，“流片的时候有些缺陷，淘汰下来的。”

吕辰接过芯片，看了看。

黑色的陶瓷基底，两排引脚，表面印着白色的字。

他把芯片递给文教授：“教授，请您用酸煮。把封装煮开，把晶圆露出来。”

文昭南愣了一下：“现在？”

“现在。”吕辰说，“咱们今天，就给它验验尸。”

陈光远招呼一个工作人员拿来烟硝酸。

文昭南把芯片放进烧杯里，倒上硝酸，下面点上酒精灯。

黄色的烟雾冒起来，刺鼻的气味弥漫开来。

十几分钟后，黑色的环氧树脂封装开始软化，脱落。

李总工用镊子把晶圆夹出来，在去离子水里洗了洗，然后放在一张滤纸上吸干。

那是一小块银灰色的东西，比指甲盖还小，边缘参差不齐。

李总工把它粘在样品托上，放进样品室。

抽真空，开机，调焦。

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图像慢慢出现。

吕辰凑到观察窗前。

视野里，是密密麻麻的金属走线，横平竖直，整整齐齐。

但在左下角，有一个小小的黑点。

“放大那个地方。”他说。

文昭南调节旋钮，图像放大，再放大。

黑点变成了一小片焦黑的痕迹，中间有一个微小的熔坑，周围是一圈烧焦的痕迹，像被雷劈过的伤口。

“这是击穿点。”吕辰指着那个熔坑，“电压过来的时候，这里温度瞬间升高，把硅都烧化了。”

他顿了顿：“这种击穿，往往是栅氧化层太薄，或者有缺陷。电场强度一大，就打穿了。”

旁边有人倒吸一口气。

吕辰直起腰，看着那一圈人。

“咱们先从头讲。”他说，“电镜能在咱们这儿干什么。我一条一条说，文教授，请您配合着演示。”

他走到一个白板前面，拿起笔，写下第一行字：关键尺寸测量。

“咱们现在的设计规则是微米。”他转过身，“但微米到底做出来是多少？光刻机有误差，刻蚀有偏差，最后留在晶圆上的线宽，可能是，也可能是。”

他拿起另一块芯片，是没煮开的，指了指表面那些看不见的线条。

“如果只有，再加上一点点毛刺，两条线就挨上了。挨上了，就是短路。”

他看着文昭南：“文教授，能不能量一下那条线的实际宽度？”