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第467章 给星河装上眼睛（第4页）

“这种方法，对于定位‘开路’和‘短路’非常直观。尤其是多层金属互联的芯片，有时候从上面看是好的，但从电压衬度一看，底下那层根本没通。”

吕辰讲完，最后又道：“这些思路，是我个人的想法，但真要用起来，还得各位慢慢摸索。”

他顿了顿：“陈厂长，我刚才说的这些，大部分是给芯片检测的。但电镜还能干别的，给材料体检。”

他又拿起一块芯片：“材料好不好，不能只看配方，要看做出来之后长什么样。陶瓷烧结有没有气孔？硅片表面有没有划痕？光刻胶涂得匀不匀？这些都要用电镜看。”

他看向文昭南：“文教授，真空所研究薄膜，薄膜致密不致的密，有没有针孔，能不能用电镜看？”

文昭南点头：“能。断面上看得最清楚。”

“那就对了。”吕辰说，“咱们上海试剂总厂送来的光刻胶，涂出来到底匀不匀？咱们半导体所拉出来的硅单晶，表面到底有没有位错？咱们自己烧的陶瓷，致密度到底够不够？这些，都能用电镜看。”

他走回白板前，在那些字下面又加了一行：材料体检。

“电镜不只是给芯片‘验尸’的，也是给材料‘体检’的。从源头开始，就把问料掐死。”

车间里又安静了一会儿。

陈光远道：“小吕，你再讲讲，咱们接下来，应该怎么用这双眼睛？”

吕辰沉默了几秒。

他走到白板前，拿起笔，又写了几行字。

工艺监控：每一批片子，抽测关键尺寸，监控工艺漂移。

失效分析：每一个故障芯片，送电镜验尸，分类缺陷，溯源改进。

材料体检：每一种新材料，上电镜看形貌，看断面，看成分，把问题掐死在源头。

技术预研：为微米、微米、亚微米做准备，建立测量方法，积累数据。

他放下笔，看着那几行字。

“咱们现在，有了电镜，但不能光看着，要看出门道来。”

“什么叫看出门道？比如说，今天量了一条线，微米。明天量一条，微米。后天量一条，微米。这叫什么？这叫数据。”

“有了数据，就能画图。横轴是时间，纵轴是线宽。点上去，连起来，就能看见——哦，这个月线宽偏小，可能是光刻机需要校准了；那个星期线宽偏大，可能是刻蚀机参数漂了。”

他顿了顿：“这叫统计过程控制。不是等出了问题再改，是看见要出问题了，提前改。”

他又指着“失效分析”那行。

“今天看一个击穿点，是栅氧化层薄了。明天看一个短路点，是刻蚀残留。后天看一个开路点，是金属层断裂。每一个故障，都是一条线索。把线索串起来，就能看见——哦，我们的工艺，薄弱环节在哪儿。”

“看见了薄弱环节，就能集中攻关。攻关完了，再用电镜看，改好了没有？还有没有别的问题？”

他指着“材料体检”那行。

“上海试剂总厂送来的新光刻胶，涂出来匀不匀？半导体所拉的新硅片，表面有没有划痕？咱们自己烧的陶瓷，致密度够不够？这些，都要用电镜看。”

“看完了，告诉人家，匀，可以用；不匀，哪儿不匀，怎么改。这叫反馈。上游知道怎么改，下游就能用上更好的材料。”

最后，他指着“技术预研”那行。

“咱们现在做微米。接下来，要做微米。微米是什么概念？线宽是现在的五分之二。那些现在看不见的缺陷，到时候就能看见了。那些现在能容忍的误差，到时候就不能容忍了。”

“所以，现在就要开始练。用这台oo埃的电镜，练怎么看微米的细节。练怎么量，怎么分类，怎么溯源。等微米真正上马的时候，我们的眼睛，已经准备好了。”

吕辰讲完，最后道：“这是我个人的一浅见，具体的操作，还是要大家以后慢慢摸索总结。”

陈光远笑道：“小吕谦虚了，你讲得很好，你今天讲的这些，够我们消化一阵子了。”

他看着那台电镜：“这东西，花了大价钱，费了大力气，从设计到制造，两年多。这就是咱们的眼睛。从今天起，咱们就是睁着眼睛干活了。”

车间里响起热烈的掌声。

然后，大家开始凑到电镜前面研究了起来。

文昭南和李总工开始讲解那些旋钮的作用，那些开关的用法。

陈光远站在一旁，看着这一幕，嘴角带着一丝笑意。

星河计划，从今天起，真的有眼睛了。

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