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第506章 微米雄心（第4页）

地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。

天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。

车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。

最前面是光刻区，gca-ocgs光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。

机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。

郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。

吕辰走过去，站在旁边看。

刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。

“分辨率微米，套刻精度±o微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”

陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”

刘高工没说话，继续弯腰检查。

郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。

“工件台我看过了，步进精度o微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行小时，看看精度有没有漂移。”

陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”

吕辰沿着生产线往前走。

光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。

每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。

设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。

再往后是扩散离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。

炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。

离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。

金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。

封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。

键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。

哈工大的周工正在一台一台检查。

吕辰凑上去：“周工，怎么样？”

周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”

吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。

芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。

他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。

翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。

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吕辰把芯片放回去，继续往前走。

走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。

光刻、薄膜、扩散离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。

这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。

走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。

那是新产线的“心脏”。

一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。

配电室隔壁是柴油电机房，三台巨大的柴油电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。

电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。

再往里走，是飞轮储能系统。

一个巨大的飞轮在真空腔体内高旋转，出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。

吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。

脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。

看完电力系统，又去看纯水系统。