纯水车间在动力中心的另一侧,巨大的水箱和管道密密麻麻,像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌,最后变成兆欧·毫米的纯水,通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀,接了一杯水,递给吕辰。
“吕工,您尝尝。”
吕辰接过来,喝了一口。
水的味道很特别,不是自来水的涩,也不是矿泉水的甜,而是一种“空”的感觉,什么都没有,干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头,又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立,不锈钢管道电抛光内壁,接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响,确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志,旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣,空气通过高效过滤器送入车间,再从地板回风口抽回来,循环往复,确保洁净度。
风机的噪音很大,但隔音罩做得很好,站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上,数字稳稳地停在oc和,一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时,把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风,每一样都做得扎实,每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心,已经十一点半了。
十二点整,所有人回到会议室。
陈光远坐在主位,面前摊着一个本子,上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说,“动力中心,先汇报。”
柳教授翻开本子:“电力系统,双回路供电正常,柴油电机组启动时间秒,飞轮储能系统响应时间毫秒,达到设计要求。纯水系统,出水电阻率兆欧·厘米,全循环管路无死角,水质稳定。特种气体系统,纯度达标,管道泄漏检测合格,安全设施齐全。空调净化系统,洁净度cass,温湿度控制±o°c,达到设计要求。”
他合上本子,看着陈光远。
“动力中心,验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔,看向顾赟。
顾赟站起来:“产品中心,测试区域。扫描电镜、电子显微镜等台设备,全部安装调试完成,操作人员培训合格,操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求,测试区域验收通过。”
陈光远点点头,看向刘高工。
刘高工站起来:“制造中心,生产线。光刻机分辨率微米,套刻精度±o微米,工件台步进精度o微米,达到设计要求。薄膜、扩散离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常,工艺参数稳定。试生产良率,接近设计目标。”
他顿了顿,又说:“建议连续运行小时,验证长期稳定性。另外,操作人员的熟练度还有提升空间,建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来,一一询问各环节的检查情况,大家也提了一些意见,不过都是些不痛不痒的小细节,陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了,陈光远看着所有人:“各位的意见,我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心,全部通过验收。”
他顿了顿,声音提高了一些。
“但通过验收不是终点,是。下周一,新产线正式联调。连续运行小时,验证长期稳定性。同时,启动良率提升计划,三个月内,良率要从提升到o以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位,有没有问题?”
“没有。”
“好,散会。”
众人站起来,收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼,站在台阶上,看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来,竖窗反射着刺目的光,像一座座水晶宫殿,矗立在那里,沉默而庄严,又像是上帝丢弃的积木,自然而随意。
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